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產(chǎn)品簡介

PRODUCT INTRODUCTION


全自動晶圓導(dǎo)片+激光刻印機(jī)

YLM系列是針對4至12 inch wafer的全自動激光laser 設(shè)備.支持wafer ID刻印, Die 標(biāo)定點(diǎn)刻印和wafer身份識別自動貼標(biāo)的功能集成。 可依據(jù)客戶需求選擇從Jar box ,foup,fosb,或者wafer cassette自動上下料。

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品特點(diǎn):

1.Barcode 掃描調(diào)程

2.蛋糕盒上料,Open cassette&FOUP 出料。支持料盒 mapping

3.Wafer ID讀取比對

4.CCD Notch定位

5.工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

6.SECS/GEM 

7.Wafer Map自動調(diào)取比對

8.wafer ID,識別標(biāo)識,NG die刻印

9.THG laser 無熱應(yīng)力損傷,高發(fā)色刻印

10.高精度,高效率


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