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產(chǎn)品簡介
PRODUCT INTRODUCTION
TRF系列晶圓全自動導片理片機
TRF系列是針對晶圓的全自動導片、理片設備； 可將WAFER從一個Jar box或者 FOUP傳遞到另外一個或多個Jar box或者 FOUP； 并支持多個料盒之間的互相傳導。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點：
1.自由選擇導片位置 ;
2.wafer ID reading功能 ;
3.可選配宏檢查和顯微鏡檢測功能 ;
4.SECS GEM功能。
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